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真空関連機器

真空レギュレータ

RoHS2対応

元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-100～0kPa
使用圧力範囲
-100～-1.3kPa(※)
吸込流量
30L/min[ANR]
使用温度範囲
0～50℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
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真空関連機器

真空レギュレータプッシュロックタイプ

RoHS2対応

元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能。プッシュロック式ツマミで簡単操作。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-100～100kPa
設定圧力範囲
-100～-1.3kPa(※)
最大吸込流量
30L/min[ANR]
使用温度範囲
0～50℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品にアルミニウムを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR：NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。
  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
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真空関連機器

真空破壊ユニット

RoHS2対応

真空発生器の真空特性はそのままに、真空破壊エアの流量と圧力を制御。

使用流体
空気
使用圧力範囲
0～0.7MPa
リリーフ弁作動圧力設定範囲
-0.015～0.015MPa
使用真空圧力
-101～0kPa
使用温度範囲
0～60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
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真空関連機器

真空用フィルタVFU

RoHS2対応

コンパクトなインラインタイプ真空用フィルタ。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-100～0kPa
濾過度
5μm(捕集効率：95%)
使用温度範囲
0～60℃(凍結なきこと)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
  • 金属主要部品に特殊ステンレスを使用しています。特殊ステンレス：耐腐蝕性はSUS303相当で腐蝕しやすい雰囲気に最適です。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
  • シールゴム材質にHNBRを使用しています。HNBR：NBRに水素を添加し、耐オゾン性を向上させた材質。低濃度オゾン対策に最適です。

対応品あり

  • 金属部材質に銅系金属を使用していません。※)一部商品は流路のみの対応となります。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
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真空関連機器

真空用フィルタVFB

RoHS2対応

真空発生器によって吸込まれたダストや水滴をサイクロン効果とエレメントにより除去。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-100～0kPa
濾過度
5μm(捕集効率：95%)
使用温度範囲
0～60℃(凍結なきこと)
濾過面積
20cm2
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
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真空関連機器

真空用フィルタVFR

RoHS2対応

真空発生器によって吸込まれたダストや水滴をサイクロン効果とエレメントにより除去。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-100～0kPa
濾過度
5μm(捕集効率：95%)
使用温度範囲
0～60℃(凍結なきこと)
濾過面積
20cm2
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
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真空関連機器

真空用フィルタVFJ

RoHS2対応

取付けが簡単なソケットタイプ真空用フィルタ。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-100～0kPa
濾過度
5μm(捕集効率：95%)
使用温度範囲
0～60℃(凍結なきこと)
濾過面積
0.8cm2 (※1)／1.1cm2(※2)
樹脂
  • 樹脂主要部品にPPを使用しています。PP：耐薬品性に優れ、透明性が高くクリーン環境に最適です。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
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真空関連機器

真空用フィルタVFL

RoHS2対応

真空ポンプや大流量真空発生器向け真空用フィルタ。

使用流体
空気
使用圧力範囲
-101～0kPa
濾過度
1,5,10,200μm(捕集効率：95%)
使用温度範囲
0～60℃(凍結なきこと)
濾過面積
64.4cm2
処理流量
360L/min[ANR]
ボウル貯容量
90cm3
真空破壊圧力
0.1MPa以下
樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT：一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品にアルミニウムを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR：一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。
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