真空関連機器

真空レギュレータ(2022年10月生産終了予定)

RoHS2対応

元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能。

樹脂
  • 樹脂主要部品にPBTを使用しています。PBT:一般環境に最適で標準的な樹脂材質。
金属
  • 金属主要部品に黄銅+無電解ニッケルメッキを使用しています。
シールゴム
  • シールゴム材質にNBRを使用しています。NBR:一般的にシール材として用いられる材質です。耐オゾン性に劣るので注意が必要です。

特長

元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能。

小型真空ポンプの元圧制御に最適。

真空弁と真空パッドの間に入れ、個々のパッドの圧力制御も可能。

真空ポンプの真空ポートに直接接続できるオネジタイプ(A)を用意。

オネジタイプ(B)は、パッド径:φ150、φ200mm用のホルダに直に取付け圧力制御可能。

仕様

レギュレータ部の仕様

使用流体 空気
使用圧力範囲 -100~100kPa
設定圧力範囲 -100~-1.3kPa
吸込流量 30L/min[ANR]
使用温度範囲 0~50℃(凍結なきこと)

φ30mm負圧計部の仕様

使用流体 空気
圧力表示範囲 -100~0kPa
圧力表示精度 ±5% F.S.(25℃時)
使用温度範囲 0~40℃(凍結なきこと)

デジタルプレッシャゲージの仕様

定格圧力範囲 -101~0kPa
圧力表示範囲 -101~10kPa(※1)
耐圧 300kPa
適用流体 空気、非腐蝕性/不燃性ガス
電池 CR2032 リチウム電池
電池寿命 約3年(1日に5回表示の場合)
電池最低下検知機能 有り
電池交換 可能
表示時間 ボタンを押してから60秒
表示回数 2Hz(2回/秒)
繰り返し性 ≦±1% F.S. ± 1 digit
LCD表示 7セグ、3.5 digit
表示精度 ±2% F.S. ± 1 digit以下(周囲温度:25 ±3℃時)
保護構造 IP65(※2)
周囲温度範囲 動作時:0~50℃、保存時:-10~60℃(結露と凍結なきこと)
周囲湿度範囲 動作時及び保存時:35~85%RH(結露なきこと)
耐振動 複振幅1.5mmあるいは100m/s2、1分間10Hz~55Hz~10Hz、X、Y、Z各方向2時間
耐衝撃 100m/s2、X、Y、Z各方向3回
温度特性 検知圧力の±2% F.S.(25℃時)

※1)1.0~10kPaの範囲は表示精度保証範囲外です。

※2)IP65を維持するため大気リリースポート(図1)にチューブを差込んでご使用ください。

圧力センサ(2画面デジタル表示付圧力センサ)の仕様

定格圧力範囲 -100.0~100kPa
耐圧 300kPa
適用流体 空気、非腐蝕性/不燃性ガス
供給電源 DC12V~24V(リップル±10%以下)
消費電流 40mA以下(無負荷時)
スイッチ出力 出力方式 NPNオープンコレクタ出力/PNPオープンコレクタ出力
スイッチ出力 最大負荷電流 125mA
スイッチ出力 最大供給電圧 DC30V(NPNオープンコレクタ出力)/DC24V(PNPオープンコレクタ出力)
スイッチ出力 内部電圧降下 1.5V以下
繰り返し性 ±0.2% F.S. ± 1 digit以下
応差 ワンポイント設定モード 調整可能(※)
応差 応差モード 調整可能(※)
応差 ウインドコンパレータモード 調整可能(※)
応答時間 2.5ms以下(誤作動予防機能:25ms、100ms、250ms、500ms、1000ms、1500ms選択)
出力短絡保護
デジタル表示 3色(赤、緑、橙)表示(表示回数:5回/秒)
表示精度 ±2% F.S. ± 1 digit以下(周囲温度:25 ±3℃時)
動作表示灯 橙色 1&2表示灯
アナログ出力(電圧出力) 出力電圧:1~5V ±2.5% F.S. 以下(定格圧力範囲内にて) 直線性:±1% F.S. 以下、出力抵抗1kΩ
耐環境 保護構造 IP40
耐環境 周囲温度範囲 動作時:0~50℃、保存時:-10~60℃(結露と凍結なきこと)
耐環境 周囲湿度範囲 動作時及び保存時:35~85%RH(結露なきこと)
耐環境 耐電圧 AC1000V 1分間(リード線とケース間)
耐環境 絶縁抵抗 50MΩ以上(DC500V)(リード線とケース間)
耐環境 耐振動 複振幅1.5mmあるいは100m/s2、1分間10Hz~150Hz~10Hz、X、Y、Z各方向2時間
耐環境 耐衝撃 100m/s2 X、Y、Z各方向3回
温度特性 ±2% F.S.以下(基準温度25℃、範囲0~+50℃)
ケーブル仕様 耐油ケーブル(0.15mm2)

※)ワンポイント設定モードとウインドコンパレータ設定モードは1~8digitsの応差を調整できます。

適用サイズ

チューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ6, φ8

ネジサイズ

管用テーパオネジ R1/4

特性グラフ

構造図

形状・価格一覧

個別注意事項

警告

1.レギュレータに正圧を印加する際、φ30mm負圧計、デジタルプレッシャゲージ付は使用しないでください。使用圧力範囲内の正圧を印加する場合は、2画面デジタル表示付圧力センサ付をご使用ください。過大な正圧の印加は、機器破損の危険性があります。

2.ご使用の際は、接続する真空源の取扱説明書もよく読み、十分な試験を行ってから運転してください。

注意

1.圧力計、圧力センサ、ゲージポートに過大な荷重・衝撃を加えないでください。機器の破損及び表示精度低下の原因となる危険性があります。

2.製品を取付ける際には、必ず確実な保持・固定を行ってください。ネジタイプを使用する場合は、適正な工具を使用し、本体外径六角部を利用して締付けてください。その他の部位で締付けた場合、本体が破損する危険性があります。

3.ゲージポートにゲージ・配管などを取付ける場合、適正な工具を使用し、ゲージポート外径六角部を利用して締付けてください。また、M5x0.8ポートへの締付けは、下表の締付トルクを参照し締付けてください。機器の破損や漏れによる表示精度の低下の原因となる危険性があります。

4.ゴミや粒体などを吸込む可能性がある場合は、真空レギュレータの調圧側(ワーク側)に真空フィルタを必ず取付けてください。異物の吸込みにより作動不良の原因となる危険性があります。

5.二次圧が不安定になりますのでリークポート、及びリリーフポートを塞がないでください。

6.レギュレータに正圧を印加する場合は、リークポートからエアが流出します。クリーンルームなどでご使用の場合はご注意ください。

7.破壊エアを印加する場合、リークポートからの漏れの量を考慮し設定してください。

8.φ30mm負圧計は、圧力変動が大きい所(ハイサイクル)では使用しないでください。

9.2画面デジタル表示付圧力センサ及びデジタルプレッシャゲージの取扱いは、圧力計・センサの共通注意事項及びそれぞれの個別注意事項をご確認ください。

真空関連機器シリーズのよくある質問

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