真空用レギュレータRVZMA

1.本製品に過大な正圧を印加すると、負圧計や圧力センサ、配管末端側の真空用機器が破損する恐れがあり、人体が負傷する危険があります。

1.圧力設定は、真空度上昇方向（時計回り）で設定してください。真空度低下方向（反時計回り）では、正確な設定ができません。

2.圧力計、圧力センサ、圧力ゲージポートに過大な荷重・衝撃を加えないでください。機器の破損及び表示精度低下の原因となる危険性があります。

3.本製品の各ポートに管継手を締付ける際は、本製品を安定した場所で確実に保持し、各ポートの六角部を適切な工具でしっかりと把持したうえで、安全に配慮して締め付けてください。また締付トルクは下図の締付トルクを参照し、漏れのないよう締付けてください。

4.ゲージポートにゲージ・配管などを取付ける場合、適正な工具を使用して締付けてください。また、締付トルクは、4.5 ～ 6.5N・ｍで締付けてください。機器の破損や漏れによる表示精度低下の原因となる危険性があります。

5.ゴミや粒体などを吸込む可能性がある場合は、真空レギュレータの調圧側（ワーク側）に真空フィルタを必ず取付けてください。異物の吸込みにより作動不良の原因となる危険性があります。

6.二次圧が不安定になりますのでリークポートを塞がないでください。

7.レギュレータに正圧を印加する場合は、リークポートからエアが流出します。クリーンルームなどでご使用の場合はご注意ください。

8.破壊エアを印加する場合は0.1MPa までとし、リークポートからの漏れ量を考慮し設定してください。

9.調圧ハンドルを全開状態から反時計回り、または全閉状態から時計回りに過剰に回さないでください。調圧ハンドル、本体の破損の原因となります。（製品出荷時は全閉状態です。）

10.調圧ハンドルは押すとロックされ、引くと解除されます。調圧後は必ずロック状態にしてください。ロックしない状態で使用するとハンドルが回転し圧力が変化する恐れがあります。

11.調圧ハンドルを押込む際に回転の位置によってはロック状態とロック解除状態の中間位置で停止することがあります。この状態では完全にロックできていないため、ロック状態の位置まで調圧ハンドルが押込まれていることを確認してください。

12.調圧ハンドルロック時に調圧ハンドルを無理に回転させるとロック機構部が破損する恐れがあります。

13.製品を固定する際は、付属の取扱説明書内の製品固定方法をよく読み、適切な箇所を指定されたトルクで締付けてください。その他の部位や指定されたトルク以上で締付けた場合、本体が破損する危険性があります。

14.2 画面３色画面デジタル表示付圧力センサ及びデジタルプレッシャゲージの取扱いは、製品カタログの圧力計・センサの共通注意事項及びそれぞれの個別注意事項をご確認ください。
ご使用の際は、接続する真空源の取扱説明書もよく読み、十分な試験を行ってから運転してください。
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