真空関連機器
真空用フィルタ、レギュレータユニットVUARM
ロボットハンドや搬送装置など、真空ラインの異物除去と元圧制御を一体化。
特長
ロボットハンドや搬送装置など、真空ラインの異物除去と元圧制御を一体化。
一体構造で省スペース化。
配管が多い場所もワンユニットで完結。
ロータリ真空ポンプRPVと組合わせた真空制御に最適。
真空供給システムの水滴や汚染物質を除去。
（真空用フィルタ）
フィルタボウルには、耐薬品性に優れたポリアミドを採用。
（真空用フィルタ）
高精度な真空制御（分解能0.13kPa以内）と高い安定性。
（真空用レギュレータ）
真空源の元圧制御に最適。
（真空用レギュレータ）
最大流量350L/min
（真空用レギュレータ）
仕様
真空用フィルタの仕様
| 使用流体 | 空気 |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | -100 ~ 0kPa |
| 耐圧 | 0.5MPa |
| 使用温度範囲 | -5 ~ 60℃（凍結なきこと） |
| ボウル貯容量 | 35cm³ |
| 濾過精度 | 5µm |
真空用レギュレータの仕様
| 使用流体 | 空気 |
|---|---|
| 耐圧 | 100kPa |
| 使用圧力範囲 | -100 ~ 0kPa |
| 設定圧力範囲 | -100 ~ -1.3kPa |
| 大気摂取量 | 0.6（L/min［ANR］）以下 |
| ノブ解像度 | 0.13kPa |
| 使用温度範囲 | -5 ~ 60℃（凍結なきこと） |
| 最大吸込流量 | 350（L/min［ANR］） |
デジタルプレッシャゲージの仕様
| 定格圧力範囲 | -101～0kPa |
|---|---|
| 圧力表示範囲 | -101～10kPa(※1) |
| 耐圧 | 300kPa |
| 適用流体 | 空気、非腐蝕性／不燃性ガス |
| 電池 | CR2032 リチウム電池 |
| 電池寿命 | 約3年(1日に5回表示の場合) |
| 電池量低下検知機能 | 有り |
| 電池交換 | 可能 |
| 表示時間 | ボタンを押してから60秒間 |
| 表示回数 | 2Hz(2回／秒) |
| 繰り返し性 | ≦±1％ F.S. ± 1 digit |
| LCD表示 | 7セグ、3.5 digit |
| 表示精度 | ±2％ F.S. ± 1 digit以下(周囲温度：25 ±3℃時) |
| 保護構造 | IP65相当(※2) |
| 周囲温度範囲 | 動作時：0～50℃、保存時：-10～60℃(結露と凍結なきこと) |
| 周囲湿度範囲 | 動作時及び保存時：35～85％RH(結露なきこと) |
| 耐振動 | 複振幅1.5mmあるいは100m/s2、1分間10Hz～55Hz～10Hz、X、Y、Z各方向2時間 |
| 耐衝撃 | 100m/s2、X、Y、Z各方向3回 |
| 温度特性 | 検知圧力の±2％ F.S.(25℃時) |
※1）0~10kPaの範囲は表示精度保証範囲外です。
※2）IP65を維持するため大気リリースポート（図1）にチューブを差込んで使用してください。
2画面3色デジタル表示付圧力センサの仕様
| 定格圧力範囲 | -100.0～100.0kPa |
|---|---|
| 耐圧 | 300kPa |
| 適用流体 | 空気、非腐蝕性／不燃性ガス |
| 供給電源 | DC12V～24V(リップル±10％以下) |
| 消費電流 | 40mA以下(無負荷時) |
| スイッチ出力 出力方式 | NPNオープンコレクタ出力／PNPオープンコレクタ出力 |
| スイッチ出力 最大負荷電流 | 125mA |
| スイッチ出力 最大供給電圧 | DC30V(NPNオープンコレクタ出力)／DC24V(PNPオープンコレクタ出力) |
| スイッチ出力 内部電圧降下 | 1.5V以下 |
| 繰り返し性 | ±0.2％ F.S. ± 1 digit以下 |
| 応差 ワンポイント設定モード | 調整可能(※) |
| 応差 応差モード | 調整可能(※) |
| 応差 ウインドコンパレータモード | 調整可能(※) |
| 応答時間 | 2.5ms以下(誤作動予防機能：25ms、100ms、250ms、500ms、1000ms、1500ms選択) |
| 出力短絡保護 | 有 |
| デジタル表示 | 3色(赤、緑、橙)表示(表示回数：5回／秒) |
| 表示精度 | ±2％ F.S. ± 1 digit以下(周囲温度：25 ±3℃時) |
| 動作表示灯 | 橙色 1＆2表示灯 |
| アナログ出力(電圧出力) | 出力電圧：1～5V ±2.5％ F.S. 以下(定格圧力範囲内にて) 直線性：±1％ F.S. 以下、出力抵抗1kΩ |
| 耐環境 保護構造 | IP40相当 |
| 耐環境 周囲温度範囲 | 動作時：0～50℃、保存時：-10～60℃(結露と凍結なきこと) |
| 耐環境 周囲湿度範囲 | 動作時及び保存時：35～85％RH(結露なきこと) |
| 耐環境 耐電圧 | AC1000V 1分間(リード線とケース間) |
| 耐環境 絶縁抵抗 | 50MΩ以上(DC500V)(リード線とケース間) |
| 耐環境 耐振動 | 複振幅1.5mmあるいは100m/s2、1分間10Hz～150Hz～10Hz、X、Y、Z各方向2時間 |
| 耐環境 耐衝撃 | 100m/s2 X、Y、Z各方向3回 |
| 温度特性 | ±2％ F.S.以下(基準温度25℃、範囲0～+50℃) |
| ケーブル仕様 | 耐油ケーブル(0.15mm2) |
※）ワンポイント設定モードとウインドコンパレータ設定モードは、1~8 digits の応差を調整できます。
適用サイズ
チューブサイズ
| ミリサイズ(mm) | ø10, ø12, ø16 |
|---|
※）ワンタッチ継手は、2個同梱されます。
ネジサイズ
| 管用テーパメネジ | Rc1/2 |
|---|
特性グラフ
構造図
形状・価格一覧
個別注意事項
真空関連機器シリーズのよくある質問
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます（例：10 kPa abs）
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル（Pa）（ヘクトパスカル（hPa））が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。（絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります）
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
※） パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
真空用フィルタを取付けた場合の圧力損失は、以下のリンクからご覧ください。
なお、取付フィルタ自体の圧力損失、ご使用時の目詰まり状態によって吸込流量と真空到達速度が変化しますので、エレメント交換など、定期的なメンテナンスが必要です。
※） メンテナンス用にエレメント単体でのご購入も可能です。（VFU、VFB、VFR用）
集中排気と大気開放は、排気方法の違いとなり、真空ラインの用途により選択可能です。
真空回路用
サイクロン効果とフィルタにより、ダスト・水滴が取除かれたエアを出口（継手）側へ排出。
一般的なインラインフィルタと同様に、機器と機器の間に設置するタイプです。
使用例1
ユニオンタイプより容量が大きいためダストを多く集積でき、メンテナンス回数などが減らせます。
真空ポンプなどに使用する場合は、真空ポンプの吸気側に設置してください。
※） この時、エアタンクを併用することで、真空エアの脈動低減が可能です。
![[使用例1]（吸い込まれたダストなどを集積する）](/faq/detail/media/image/faq48.jpg)
排気回路用
サイクロン効果とフィルタによりダスト・水滴が取除かれたエアを、直接大気（外気）へ排出。
排気の末端に設置します。ダスト集積の目的以外にも、粒体・粉体搬送用の真空発生器VRLと併用し、エアの中の粉体（粒体）の収集にも使用可能です。
使用例2
取りきれなかった細かなダストは大気に飛散しますので、クリーン環境などには適しません。
![[使用例2]（真空発生器VRLで吸い上げたダスト・粉体などを収集する）](/faq/detail/media/image/faq49.jpg)
取れません。
真空用フィルタは、空気中のゴミ・塵などを除去するもので、水分の除去はできません。
ろ過面積が大きい方がゴミ・塵を除去する面積が大きいので、エレメントのメンテナンスサイクルが長くなります。使用する環境雰囲気、装置の仕様などを考慮し選定してください。
この商品に関するお問い合わせ
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