
調質機器
中空糸膜フィルタ
中空糸膜の採用で、濾過度:0.01μm、捕集効率:99.99%を実現。
半導体、計測器、印刷、医療分野に最適。
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流路に銅を主成分とする金属材料を使用していません。
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シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。
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組立時に油を使用しません。
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グリースにフッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後クリーンルーム内にて包装します。
特長
中空糸膜の採用で、濾過度:0.01μm、捕集効率:99.99%を実現。
半導体、計測器、印刷、医療分野に最適。
小型・軽量・大流量。
防爆機能を付加。
フィルタケースを樹脂本体で覆いました。
禁油仕様で金属材質は、全てステンレス。
包装は、標準でクリーンルーム包装仕様。
仕様
共通仕様
使用流体(※1) | 空気、窒素 |
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最高使用圧力(※3) | 1.0MPa(at 20℃) |
使用温度範囲 | 5~50℃ |
濾過度(※2) | 0.01μm(捕集効率:99.99%) |
耐圧力 | 1.5MPa(at 20℃) |
耐差圧力 | 0.25MPa(at 20℃) |
その他特記事項 | 防爆カバー付き、禁油仕様 |
※1)使用流体に上記以外の気体を流す場合は、最寄りの営業所へお問い合わせください。
※2)当社測定条件によります。
警告
※3)その他の温度域で使用される場合は、「使用温度と最高使用圧力の関係図」を参照してください。使用流体が窒素の場合は、最高使用圧力:0.99MPa(at20℃)となります。

MFU50-44, MFU50-66, MFU50-88
最高処理流量(※4) | 50L/min[ANR] |
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膜面積 | 107cm2 |
※4)一次側圧力:0.7MPaで圧力損失:0.03MPaの時の流量となります。また、継手サイズにより最大処理流量が異なりますので、デジタルカタログの「圧力損失特性線図」を参照してください。
MFU100-66, MFU100-88, MFU100-1010
最高処理流量(※4) | 100L/min[ANR] |
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膜面積 | 215cm2 |
※4)一次側圧力:0.7MPaで圧力損失:0.03MPaの時の流量となります。また、継手サイズにより最大処理流量が異なりますので、デジタルカタログの「圧力損失特性線図」を参照してください。
適用サイズ
チューブサイズ
ミリサイズ(mm) | φ4, φ6, φ8, φ10 |
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特性グラフ





構造図

注文案内
注文形式例

形状・価格一覧
オプション・メンテナンス品

個別注意事項
警告
1.中空糸膜フィルタMFUの中空糸膜は、定期的に点検を行ってください。中空糸膜の目詰まりにより性能低下、またはトラブルの原因となります。使用期間が1年経過、もしくは圧力損失が0.1MPa以上となった場合には新しい製品と交換してください。
2.屋外、直射日光が当たる場所での使用及び保管はしないでください。直射日光や紫外線により中空糸膜やポッティング剤が劣化し、フィルタ性能を著しく低下させる恐れがあります。
3.本製品の防爆機能は、フィルタケース破損時の飛散を防ぐものであり、フィルタケースの破損自体を防ぐものではありません。
4.以下の流体、使用雰囲気中では使用しないでください。 腐蝕性ガス、有機溶剤、化学薬品、水(水蒸気)、過度の湿度、塵埃、オイルミストを含んだ空気(窒素)など。
注意
1.配管前に必ずクリーンエアで配管内のフラッシングを行ってください。配管内の塵埃、錆、シールテープなどは目詰まりの原因となります。また、配管などを接続した際、接続部からの発塵の影響を軽減するために必ずクリーンエアでエア流入方向からフラッシングを行ってください。
2.本製品はフィルタエレメントの交換は不可となっております。
3.使用状況により中空糸が乱れることがありますが、性能上問題ありません。
調質機器シリーズのよくある質問
酸素(純酸素を除く)や窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスの除湿は可能です。
ただし、弊社ファイバードライは使用流体の一部をパージエアとして大気に開放するため、ガスが設置空間に充満し、最悪、事故に繋がる危険があります。そのため、ストレートタイプドライヤ(DMBタイプ)、もしくはフレキシブルタイプドライヤ(DMFタイプ)を使用し、パージエア接続口には別回路で圧縮エアを供給してください。
また、ドライヤに接続されているワンタッチ継手につきましても、様々な要因によりガスの漏れが発生する可能性があります。こうしたことも考慮の上、使用可否をご判断ください。
まず、ファイバードライの中空糸膜の除湿原理についてですが、中空糸膜フィルタの内側に圧縮エアを流すと、水蒸気のみが膜外に透過し、出口側には乾燥エアが出てきます。


この乾燥エアの一部を、パージエア(水蒸気を取り去るエア)として中空糸膜の外側に沿って流すことで、中空糸膜表面およびケーシング内の水蒸気を外に排出します。そのため、中空糸膜フィルタは常に水蒸気濃度が低い状態に保たれ、連続除湿を行うことができます。
ファイバードライはパージエアの流量調整機能があり、得られる乾燥エアの乾燥度を調節できます。
パージ流量が多い(=パージ率が高い)ほど、乾燥度は高くなります。
【動画】ファイバードライ除湿原理
露点とは、気体(空気やガスなど)に含まれる水蒸気が水滴になり始める温度のことで、露点温度とも言います。露点温度は気体中の水蒸気の量により変化するため、気体中の水分量を表す値として用いられます。
露点温度が低いほど、水分量が少ない(=乾燥している)、露点温度が高いほど、水分量が多い(=湿潤である)、となります。
また、気体の圧力が高いと気体の露点温度も高くなるので、圧縮エアは水分量(ドレン)が多く、そのまま使用するとシリンダや電磁弁、エア工具のサビの原因につながりますので、まずドライヤでエアを乾燥させる必要があります。
この商品に関するお問い合わせ
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