圧力計・検出スイッチ

2画面2色デジタル表示付流量センサ21

RoHS2対応

流量管理や小型ワークの吸着確認が可能。

特長

流量管理や小型ワークの吸着確認が可能。

高精度:±3%F.S.以下。

正確な流量計測が可能。

高速応答:50msec以下。

シリコーンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で, 高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献。

ニードル弁一体型も用意。

流量調整可能なニードル弁がセンサと一体になっており, 配管の手間がかかりません。また, 省スペース設置が可能。

双方向での流体計測が可能。

双方向タイプは, 流れ方向を任意に設定し計測することができます。配管取付の自由度がアップするとともに, 逆流検知用としても使用できます。

より使いやすい表示機能。

取付向きが上下逆でも見やすい表示反転機能を搭載。

ツイン表示/2色表示機能で操作性を向上。

メイン画面とサブ画面を設けることで, 操作性を向上。更に, 2色表示で異常が一目で判ります。

様々な取付方法に対応。

ブラケット取付, パネル取付, DINレール取付オプションを用意。

直管部不要。

上流側・下流側ともに直管部が不要。

豊富な接続バリエーション。

インチサイズを標準ラインナップ。

設定コピー機能を搭載。

マスタ側の設定をスレーブ側へコピー可能。

5種類のガスに対応。

ガス種切替機能付き。

仕様

共通仕様

適用流体(※1) 清浄空気 (JIS B 8392-1:2012 1.1.1 ~ 5.6.2), 圧縮空気 (JIS B 8392-1:2012 1.1.1 ~ 1.6.2), 窒素ガス, アルゴン, 炭酸ガス, 混合ガス(アルゴン+炭酸ガス)
温度範囲 0~50ºC (結露なきこと)
圧力範囲 -0.09MPa~0.75MPa
耐圧力 1MPa                                   
使用周囲温度・湿度 0~50ºC, 90%RH以下
保存温度 -10~60℃
精度(※2)(※3) ±3%F.S.以内(2次側大気開放)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
繰り返し精度(※4) ±1%F.S.以内(2次側大気開放)
温度特性 ±0.2%F.S./ºC以内(15 ~ 35ºC, 25ºC基準)
圧力特性 ±5%F.S.以内(2次側大気開放基準)/流量201タイプの場合:±5%F.S.以内(0.35MPa基準)
応答時間(※5) 50msec以下(応答時間設定OFF時)
スイッチ出力(NV/NVC/NA/NAC) NPNオープンコレクタ出力(50mA以下, 電圧降下2.4V以下)
スイッチ出力(PV/PVC/PA/PAC) PNPオープンコレクタ出力(50mA以下, 電圧降下2.4V以下)
アナログ出力(※6)(NV/NVC/PV/PVC) 1 ~ 5V電圧出力(接続負荷インピーダンス50kΩ以上)
アナログ出力(※6)(NA/NAC/PA/PAC) 4 ~ 20mA電流出力(接続負荷インピーダンス0 ~ 300Ω)
電源電圧(※7) (NV/NVC/PV/PVC) DC12 ~ 24V(10.8 ~ 26.4V) リップル率1%以下
電源電圧(※7) (NA/NAC/PA/PAC) DC24V(21.6 ~ 26.4V) リップル率1%以下
消費電流(※8) 45mA以下
リード線 ø3.7 AWG26相当x5芯 (コネクタ接続), 絶縁体外径ø1.0
保有機能(※9) ①ガス種切替, ②設定コピー機能, ③流量積算, ④ピークホールド, 他
保護構造 IP40相当
保護回路(※10) 電源逆接続保護, スイッチ出力逆接続保護, スイッチ出力負荷短絡保護
耐振動 10〜150Hz, 最大100m/s², XYZ方向, 各2時間
EMC指令 EN55011, EN61000-6-2, EN61000-4-2/3/4/6/8
取付姿勢(※11) 縦・横自在
直管導入部(※12) 不要

※1) 塩素, 硫黄, 酸などの腐蝕成分を含まない乾燥気体で, ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は, JIS B 8392-1:2012 等級 1.1.1~1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には, ドレン(水, 酸化オイル, 異物など)が含まれます。本製品の機能を維持するために, 本製品の一次側(上流)にフィルタ, エアドライヤ(最低圧力露点10℃以下)及びオイルミストフィルタ(最大油分濃度0.1mg/m3)を取付けてご使用ください。

※2)本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。

※3)精度は当社の基準流量計を基準としており, 絶対精度を示すものではありません。 なお, 精度±3%F.S.には, 繰返し精度, 温度特性, 圧力特性は含まれておりません。 使用環境・使用条件により別途考慮ください。

※4)短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。

※5)実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。

※6) アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは, 約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合, 出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上, ご使用ください。

※7) 電圧出力タイプと電流出力タイプでは, 電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。

※8) DC24V接続, 負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。

※9)ガス種切替機能により, アルゴン, 炭酸ガス, アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替えることができます。 炭酸ガスへ切替後のフルスケール流量は流量レンジの半分になります。また, アナログ出力は出力タイプを選択することができます。

※10) 本製品の保護回路は特定の誤接続, 負荷の短絡に対してのみ効果があり, あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。

※11)本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。縦方向に設置すると, 対流の影響で熱分布が変わり, ゼロ点がずれる場合があります。

※12)配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。

流量範囲0.5L/minタイプ仕様

フルスケール流量 0.5L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 15~500mL/min
測定流量レンジ(※1)(R) -500~-15, 15~500mL/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -49~549mL/min
測定表示範囲(※2)(R) -549~549mL/min
積算表示 (※3)範囲 0~±9999999mL
積算表示 (※3)パルス出力レート 5mL

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲1L/minタイプ仕様

フルスケール流量 1L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 30~100mL/min
測定流量レンジ(※1)(R) -1000~-30, 30~1000mL/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -99~1099mL/min
測定表示範囲(※2)(R) -1099~1099mL/min
積算表示 (※3)範囲 0~±9999999mL
積算表示 (※3)パルス出力レート 10mL

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲2L/minタイプ仕様

フルスケール流量 2L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 0.06~2.00L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -2.00~-0.06, 0.06~2.00L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -0.19~2.19L/min
測定表示範囲(※2)(R) -2.19~2.19L/min
積算表示 (※3)範囲 0.00~±99999.99L
積算表示 (※3)パルス出力レート 0.02L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)유량 표시는 다음과 같습니다.

※3)적산 유량은 계산 (참고) 값입니다. 적산값 저장 기능을 사용하는 경우 저장 횟수가 기억 소자의 액세스 횟수(한계는100만회)를 넘지 않도록 주의하십시오.(각종 설정 변경도 액세스 횟수로 카운트 됩니다.)순간 유량이 1%이하일 때는 적산 유량으로 카운트되지 않습니다.

流量範囲5L/minタイプ仕様

フルスケール流量 5L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 0.15~5.00L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -5.00~-0.15, 0.15~5.00L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -0.49~5.49L/min
測定表示範囲(※2)(R) -5.49~5.49L/min
積算表示 (※3)範囲 0.00~±99999.99L
積算表示 (※3)パルス出力レート 0.05L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲10L/minタイプ仕様

フルスケール流量 10L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 0.30~10.00L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -10.00~-0.30, 0.30~10.00L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -0.99~10.99L/min
測定表示範囲(※2)(R) -10.99~10.99L/min
積算表示 (※3)範囲 0.00~±99999.99L
積算表示 (※3)パルス出力レート 0.1L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲20L/minタイプ仕様

フルスケール流量 20L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 0.6~20.0L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -20.0~-0.6, 0.6~20.0L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -1.9~21.9L/min
測定表示範囲(※2)(R) -21.9~21.9L/min
積算表示 (※3)範囲 0.0~±999999.9L
積算表示 (※3)パルス出力レート 0.2L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲50L/minタイプ仕様

フルスケール流量 50L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 1.5~50.0L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -50.0~-1.5, 1.5~50.0L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -4.9~54.9L/min
測定表示範囲(※2)(R) -54.9~54.9L/min
積算表示 (※3)範囲 0.0~±999999.9L
積算表示 (※3)パルス出力レート 0.5L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲100L/minタイプ仕様

フルスケール流量 100L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 3.0~100.0L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -100.0~-3.0, 3.0~100.0L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -9.9~109.9L/min
測定表示範囲(※2)(R) -109.9~109.9L/min
積算表示 (※3)範囲 0~±999999.9L
積算表示 (※3)パルス出力レート 1L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

流量範囲200L/minタイプ仕様

フルスケール流量 200L/min
流れ方向 F:片方向/R:双方向
測定流量レンジ(※1)(F) 6~200L/min
測定流量レンジ(※1)(R) -200~-6, 6~200L/min
表示の種類 4桁+4桁 2色LCD
測定表示範囲(※2)(F) -19~219L/min
測定表示範囲(※2)(R) -219~216L/min
積算表示 (※3)範囲 0~±9999999L
積算表示 (※3)パルス出力レート 2L

※1) 本製品に表示される流量は質量流量を体積流量に換算した値です。計測した質量流量を20℃, 1気圧(101kPa), 相対湿度65%RHでの体積流量に換算して表示しています。(空気以外のガス種では, 20℃, 1気圧(101kPa), 0%RH)。

※2)各流量における表示は以下のようになります。

※3)積算流量は計算(参考)値です。積算値保存機能を使用する場合は, 保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようにご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)瞬時流量が1%以下の時は, 積算流量としてカウントされません。

適用サイズ

チューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ4, φ6, φ8, φ10
インチサイズ φ1/4", φ3/8"

特性グラフ

回路図

構造図

形状・価格一覧

個別注意事項

警告

1.日本の計量法, 及び計量法と同等の各国の法令には適合していないため, 商取引には使用しないでください。

2.塩素や硫黄, 酸などの腐蝕成分を含まない乾燥気体で, かつダストやオイルミストを含まない清浄気体を使用してください。流体の質によっては, 流体を長時間滞留させると性能に悪影響を及ぼす恐れがあります。配管内の流体を長時間密封しないでください。本製品に異物(配管内のゴミや水滴, オイルミストなど)が流入すると, 精度や制御性が悪くなったり, 故障する恐れがあります。異物が流入する可能性がある場合には, 本製品の一次側(上流)にフィルタやエアドライヤ, オイルミストフィルタなどを取付けてください。

3.バルブのグリース, オイルなどの飛散や, バルブから発生する摩耗粉により, 本製品が誤動作したり故障する恐れがあります。本製品の一次側にバルブを使用する場合は, 禁油仕様のバルブを使用し, フィルタを取付けてください。

4.液化したガスが本製品に流れ込むと故障の原因になります。炭酸ガスなどの液化ガスは, 気化させてから使用してください。

注意

1.測定流量レンジの2倍程度までの流量であればすぐに故障することはありませんが、常用はできませんので、仕様の範囲内でご使用ください。

2.最高使用圧力以上または最低使用圧力以下、測定流量レンジの範囲外での使用は故障の原因になります。 -0.09MPa以下の真空下で通電すると、センサの放熱が悪くなり、センサの劣化につながります。また、圧力範囲内であっても、本製品の一次側と二次側の圧力条件によっては過大な流量が流れ、本製品内部のセンサが異常をきたす恐れがありますので、バイパス回路や絞りを設け、本製品へは過大な流量が流れ込まないようにしてください。特に高い圧力でご使用される場合には過流量になりやすいのでご注意ください。

3.本製品のニードル弁は, 製品の仕様上ある程度の漏れを許容しております。そのため漏れを許容しないストップ弁として使用することはできません。

4.流路内の発塵はゼロではありません。発塵が問題となる回路では中空糸膜フィルタ(MFUシリーズ)を併せてご使用ください。

5.吸着確認などでご使用の場合は以下にご注意ください。 ①吸入側の上流に必ずエアフィルタを取付け, 異物・水分の吸入を防止してください。 ②大気の露点と本製品の周囲温度を考慮して, 配管内で結露しない条件で使用してください。 ③吸気などの真空用途で使用する場合, ワンタッチ継手部付近での曲げを行わないでください。 ワンタッチ継手付近のチューブに応力が加わる場合はインサートリングをチューブに挿入後, ワンタッチ継手に差込んでご使用ください。 ④ 吸着確認用センサを圧力センサ(スイッチ)から流量センサ(スイッチ)へ置換えた場合, センサ出力(スイッチ出力)の論理が反転するイメージになります(下表参照)。 PLCのシーケンスプログラムについて変更・修正する必要が出ますのでご注意ください。 特に, 装置電源投入時に, 元圧・真空源が供給されていない場合, 流量センサ(スイッチ)では, 「流量0」=「センサ出力(スイッチ出力)ON」の状態となりますので, PLCのシーケンスプログラムなどにて問題が出ないようにしてください。 ⑤ 使用真空圧力, 吸気ノズル径より流量レンジを選択してください。吸気ノズルから本製品の間の配管容積によって, 応答速度が遅れる場合があります。その場合は容積を小さくするなどの対策を施してください。

6.ケースの材質は樹脂です。樹脂を侵す恐れがありますので, 汚れなどを取るために, 溶剤やアルコール, 洗浄剤などは使用しないでください。汚れを取る時は, 薄めた中性洗剤でウエスを湿らせ, 固く絞ってから拭取ってください。

7.定期的に流量精度を確認することを推奨します。お客様の使用環境や使用状態により, 精度が初期から変動する場合があります。また, 長時間使用するとセンサチップの劣化により, 精度が変動する場合があります。

圧力計・検出スイッチシリーズのよくある質問

この商品に関するお問い合わせ

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