真空発生器総合タイプ
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真空発生器総合タイプVX 
- 供給用バルブは、応答性を極限まで追求、真空システムのハイサイクル化を実現。
- 供給用バルブは、ノーマルクローズタイプ(常時閉)、及び省電力対応のダブルソレノイドタイプ(保持型)を用意。
真空発生器総合タイプVQ 
- 大流量の制御に最適な31.5mm幅真空発生器。
- 基準真空圧力までの真空立ち上がりを大口径ノズルで、基準真空圧力以上は小口径ノズルが制御を行う省エネ設計なツインノズルタイプも用意。
