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對應真空泵單元模組

真空泵對應單元VJP

通過RoHS2認證

在通常的真空破壞氣流量控制的基礎上增加了壓力控制。防止工件被吹飛。

適用流體
空氣(符合JIS B 8392-1：「1.2.1～2.4.3級」)、真空
使用壓力範圍
0.3～0.7MPa
使用真空壓力
-100～0kPa
使用溫度範圍
5～50℃(不可結冰)
使用濕度範圍
35～85%RH(不可結露)
耐振動性／耐衝擊性
50 m/s2以下／ 150 m/s2以下
防護等級
與IP40相当
潤滑油
不需要
耐壓性(供氣回路)
1.05MPa
耐壓性(真空迴路)
0.2MPa

選購

  • 流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
  • 密封橡膠材料採用了HNBR或FKM。※)一部分產品僅對應流路部分。
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對應真空泵單元模組

真空泵對應單元VXP・VXPT

通過RoHS2認證

追求極限響應速度的真空供給閥，實現了真空系統的高循環化。

適用流體
空氣(符合JIS B 8392-1：「1.2.1～2.4.3級」)、真空
使用壓力範圍
0.3～0.7MPa
使用真空壓力
-100～0kPa
使用溫度範圍
5～50℃(不可結冰)
使用濕度範圍
35～85%RH(不可結露)
耐振動性／耐衝擊性
50 m/s2以下／ 150 m/s2以下
防護等級
與IP40相当
潤滑油
不需要
耐壓性(供氣回路)
1.05MPa
耐壓性(真空迴路)
0.2MPa

選購

  • 流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
  • 密封橡膠材料採用了HNBR或FKM。※)一部分產品僅對應流路部分。
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對應真空泵單元模組

真空泵對應單元VQP

通過RoHS2認證

適合大流量控制的31.5mm寬真空泵對應單元。

適用流體
空氣(符合JIS B 8392-1：「1.2.1～2.4.3級」)、真空
使用壓力範圍
0.3～0.7MPa
使用真空壓力
-100～0kPa
使用溫度範圍
5～50℃(不可結冰)
使用濕度範圍
35～85%RH(不可結露)
耐振動性／耐衝擊性
50 m/s2以下／ 150 m/s2以下
防護等級
與IP40相当
潤滑油
不需要
耐壓性(供氣回路)
1.05MPa
耐壓性(真空迴路)
0.2MPa

選購

  • 流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
  • 密封橡膠材料採用了HNBR或FKM。※)一部分產品僅對應流路部分。
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對應真空泵單元模組

真空泵對應單元VZP

通過RoHS2認證

小型化且輕量化。將配線整合的底座專用型真空泵對應單元。

適用流體
空氣(符合JIS B 8392-1：「1.2.1～2.4.3級」)、真空
使用壓力範圍
0.3～0.7MPa
使用真空壓力
-100～0kPa
使用溫度範圍
5～50℃(不可結冰)
使用濕度範圍
35～85%RH(不可結露)
耐振動性／耐衝擊性
50 m/s2以下／ 150 m/s2以下
防護等級
與IP40相当
潤滑油
不需要
耐壓性(供氣回路)
1.05MPa
耐壓性(真空迴路)
0.2MPa
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對應真空泵單元模組

真空泵對應單元VNP

通過RoHS2認證

適合狹小空間安裝、以及需要高頻循環作業產業的真空泵對應單元

適用流體
空氣(符合JIS B 8392-1：「1.2.1～2.4.3級」)、真空
使用壓力範圍
0～0.55MPa
使用真空壓力
-100～0kPa
使用溫度範圍
5～50℃(不可結冰)
使用濕度範圍
35～85%RH(不可結露)
耐振動性／耐衝擊性
50 m/s2以下／ 150 m/s2以下
防護等級
與IP40相当
潤滑油
不需要
耐壓性(供氣回路)
1.05MPa
耐壓性(真空迴路)
0.2MPa
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對應真空泵單元模組

真空泵對應單元VIP

通過RoHS2認證

新推出搭載流量感測器型（業界首創）。同時提供常規的搭載壓力感測器型和無壓力感測器型。
最適用於半導體相關設備（晶片貼片機、上料機）和小型工件的吸附搬運設備。

適用流體
空氣(符合JIS B 8392-1：「1.2.1～2.4.3級」)、真空
使用壓力範圍
0.3～0.7MPa
使用真空壓力
-90～0kPa
使用溫度範圍
5～50℃(不可結冰)
使用濕度範圍
35～85%RH(不可結露)
耐振動性／耐衝擊性
50 m/s2以下／ 150 m/s2以下
防護等級
與IP40相当
潤滑油
不需要
耐壓性(供氣回路)
1.05MPa
耐壓性(真空迴路)
0.2MPa
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