对应真空泵单元模块
对应真空泵单元VXP/VXPT
供气阀追求极致的反应速度、实现了真空系统高循环化。
选购
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流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
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密封橡胶材料采用了HNBR或FKM。※)一部分产品仅对应流路部分。
特长
实现了真空系统高循环化。
供气阀追求极致的反应速度、实现了真空系统高循环化。
对应真空泵系统单元有3端口规格可选。 真空供给主阀使用三通阀，可大幅度缩短真空破坏时间。
由于在关闭主阀后会造成真空保持，与仅用真空破坏气流的常规双向阀相比（VXP 型），3端口规格（VXPT型）在主阀关闭时使大气流入，利用大气压与真空破坏气流进行真空破坏。
对应市场需求的轻量化，小体积真空泵对应单元。
真空开关提供2种选择。
带可视性良好的LED压力显示的真空开关，有带2点开关输出和带模拟输出2种以及价格便宜的只带模拟输出的产品可选。
固定方式可根据用途从2种中选择。
备有对应“流路中不使用以铜为主要成分的金属材料”和“对应低浓度臭氧环境”的规格(仅限于VXP)。
流路中不使用以铜为主要成分的金属材料，密封橡胶可对应低浓度臭氧环境。
规格
基本规格
| 适用流体 | 空气(JIS B 8392-1：符合「等级1.2.1～2.4.3」)、真空 |
|---|---|
| 使用压力范围 | 0.3～0.7MPa |
| 使用真空压力 | -100～0kPa |
| 使用温度范围 | 5～50℃(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 耐振动性／耐冲击性 | 50m/s2以下／150m/s2以下 |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 润滑油 | 不需要 |
| 耐压性(供气回路) | 1.05MPa |
| 耐压性(真空回路) | 0.2MPa |
※）此处的耐压性是指在产品不被破坏的前提下所能承受的压力，并不是指产品正常使用的压力。
电磁阀规格(DC24V)
| 额定电压 | DC24V ±10% |
|---|---|
| 消耗电力 | 1.2W(带LED) |
| 电涌保护电路 | 有(变阻器) |
| 工作指示灯 | 通电时、红色LED点亮 |
| 手动操作 | 非锁定按钮式 |
电磁阀规格(AC100V)
| 额定电压 | AC100V ±10% |
|---|---|
| 消耗电力 | 1.5VA(带LED) |
| 电涌保护电路 | 有(桥式二极管) |
| 工作指示灯 | 通电时、红色LED点亮 |
| 手动操作 | 非锁定按钮式 |
真空供给主阀规格(2端口规格 常闭)
| 驱动方式 | 先导阀间接驱动 |
|---|---|
| 应答时间(标准规格)(OFF→ON) | DC24V规格：7.5msec |
| 应答时间(标准规格)(OFF→ON) | AC100V规格：10.5msec |
| 应答时间(标准规格)(ON→OFF) | DC24V规格：8.5msec |
| 应答时间(标准规格)(ON→OFF) | AC100V规格：10msec |
| 应答时间(-S3规格)(OFF→ON) | DC24V规格：7.5msec |
| 应答时间(-S3规格)(OFF→ON) | AC100V规格：10.5msec |
| 应答时间(-S3规格)(ON→OFF) | DC24V规格：13msec |
| 应答时间(-S3规格)(ON→OFF) | AC100V规格：22.5msec |
※）应答时间为供给0.5MPa/额定电压（100%）时的数值。
真空供给主阀规格(3端口规格 常闭)
| 驱动方式 | 先导阀间接驱动 |
|---|---|
| 应答时间(标准规格)(OFF→ON) | DC24V规格：6msec |
| 应答时间(标准规格)(OFF→ON) | AC100V规格：9msec |
| 应答时间(标准规格)(ON→OFF) | DC24V规格：8.5msec |
| 应答时间(标准规格)(ON→OFF) | AC100V规格：10msec |
真空供给主阀规格
| 驱动方式 | 直接驱动 |
|---|---|
| 阀功能 | 常闭 |
| 应答时间(标准规格)(OFF→ON) | DC24V规格：3.5msec |
| 应答时间(标准规格)(OFF→ON) | AC100V规格：8msec |
| 应答时间(标准规格)(ON→OFF) | DC24V规格：3msec |
| 应答时间(标准规格)(ON→OFF) | AC100V规格：14msec |
※）应答时间为供给0.5MPa/额定电压（100%）时的数值。
真空过滤器规格
| 滤芯材料 | PVF(聚氟乙烯) |
|---|---|
| 过滤精度※ | 5μm |
| 滤芯表面积 | 502mm2 |
※）此数据为碧士克测试结果。
真空破坏功能
| 破坏空气流量(2端口规格) | 0～11L/min[ANR](0.5MPa供给时) |
|---|---|
| 破坏空气流量(3端口规格) | 0～7.5L/min[ANR](0.5MPa供给时) |
※）真空破坏流量根据真空侧配管的直径和长度（管道阻力等）的改变而变化。
压力传感器规格(-DW：带LED显示 带2点开关输出)
| 消耗电流 | 40mA以下 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用压力范围 | -100kPa～0kPa |
| 设定压力范围 | -99～0kPa |
| 耐压力 | 0.2MPa |
| 供给电压 | DC12～24V ±10%波动 (P-P)10%以下 |
| 输出点数 | 2 |
| 工作精度 | ±3%F.S.以下 (at Ta=25℃) |
| 应差 | 固定 (2%F.S.以下) |
| 开关输出 | NPN集电极开路(30V 80mA以下、残留电压0.8V以下) |
| 应答速度 | 约2msec |
| 显示 | -99～0kPa (2位 红色LED显示) |
| 显示次数 | 约4次／sec |
| 显示精度 | ±3%F.S. ±2 digit以下 |
| 最小分辨率 | 1 digit |
| 操作显示 | SW1：超过设定压力红色LED点亮、SW2：超过设定压力绿色LED点亮 |
※）由于反复施加压力而产生的「零点电压」、「跨步电压」以及「开关输出设定值」的允许变化范围为±3％F.S。
压力传感器规格(-DA：带LED显示带1点开关输出，带模拟输出)
| 消耗电流 | 40mA以下 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用压力范围 | -100kPa～0kPa |
| 设定压力范围 | -99～0kPa |
| 耐压力 | 0.2MPa |
| 供给电压 | DC12～24V ±10%波动 (P-P)10%以下 |
| 输出点数 | 1 |
| 工作精度 | ±3%F.S.以下 (at Ta=25℃) |
| 应差 | 可変 (0～15%F.S.) |
| 开关输出 | NPN集电极开路(30V 80mA以下、残留电压0.8V以下) |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压 | 1 ±0.1V |
| 模拟输出/跨步电压 | 4 ±0.1V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA以下(负载电阻：5Ω以上) |
| 模拟输出/LIN／HYS | ±0.5%F.S.以下(at Ta=25℃) |
| 应答速度 | 约2msec |
| 显示 | -99～0kPa (2位 红色LED显示) |
| 显示次数 | 约4次／sec |
| 显示精度 | ±3%F.S. ±2 digit以下 |
| 最小分辨率 | 1 digit |
| 操作显示 | SW1：超过设定压力红色LED点亮 |
※）由于反复施加压力而产生的「零点电压」、「跨步电压」以及「开关输出设定值」的允许变化范围为±3％F.S。
压力传感器规格(-A0：带LED显示带1点开关输出、带模拟输出)
| 消耗电流 | 15mA以下 |
|---|---|
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 使用压力范围 | -100kPa～0kPa |
| 耐压力 | 0.2MPa |
| 供给电压 | DC12～24V ±10%波动 (P-P)10%以下 |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压 | 1 ±0.1V |
| 模拟输出/跨度电压 | 4 ±0.1V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA以下(负载电阻：5kΩ以上) |
| 模拟输出/LIN/HYS | ±0.5%F.S.以下(at Ta=25℃) |
※）由于反复施加压力而产生的「零点电压」、「跨步电压」以及「开关输出设定值」的允许变化范围为±3％F.S。
适用尺寸
真空端口管子尺寸
| 毫米(mm) | φ3, φ4, φ6 |
|---|
供气端口管子尺寸
单体型
| 毫米(mm) | φ3,φ4, φ6 |
|---|
底座型
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8, φ10 |
|---|
真空供给端口管子尺寸
单体型
| 毫米(mm) | φ3,φ4, φ6 |
|---|
底座型
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8, φ10 |
|---|
导购
单体型
底座型
仅底座
底座搭载单元单体
个别注意事项
警告
1.请参考电子版产品目录的拧紧扭矩来紧固螺丝。产品的安装拧紧扭矩请参考「固定方法」，电磁阀的拧紧扭矩请参考「3.阀用滤芯的更换方法」。如果拧紧不当，可能会导致漏气、产品掉落或部件损坏。
对应真空泵单元模块系列的常见问题
FVUS011-NWや、FVXS-DW-1は、製品自体の形式ではなく製品に搭載された「センサ」の形式となります。製品の正式な形式は、本体にレーザーマーキング（またはラベリング）されています。FVUS011-**は真空発生器VK、FVXS-**は真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVXP/VXPT）に搭載されたセンサの形式となります。
弊社の真空発生器総合タイプ（真空ポンプ対応ユニット）の形式は「V」から始まる形式となります。（VG…、VQ…など）
センサ形式は、FV…などで始まる形式で【PRESSURE SWITCH】と書かれている場合もあります。
センサ形式は、センサ付仕様のみに記載されています。
真空発生器総合タイプ（真空ポンプ対応ユニット）の形式およびセンサ形式の識別は、以下の写真を参考にしてください。
真空発生器VK(単体タイプ)
真空発生器VK(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VKM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVX/VXP）（単体タイプ）
真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVX/VXP）(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VXM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
その他の真空発生器総合タイプ
製品名や外観が似ていますが、使用用途・目的が異なります。
真空発生器 総合タイプは、圧縮エアを供給することにより真空エアを発生させて制御を行う機器です。
一方、真空ポンプ対応ユニットは真空発生はせず、真空ポンプ等の別の真空源の真空エアを使用して、真空エアを制御する機器です。（ただし、破壊エア回路のパイロットバルブを駆動させるための圧縮エアの供給は必要です。）
また、ピスコの真空発生器には、小型で取付けやすい単体タイプもあります。（ただし、制御機能はありません。）
バルブを操作しない状態（ノーマル位置）での、バルブの位置を示します。
ノーマルクローズタイプ（略称Ｎ.Ｃ.）
ノーマル位置が常時閉。操作（または通電）すると開きます。
ノーマルオープンタイプ（略称Ｎ.Ｏ.）
ノーマル位置が常時開。操作（または通電）すると閉じます。
弁を操作しない状態で、入口と出口が通じています。
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます（例：10 kPa abs）
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル（Pa）（ヘクトパスカル（hPa））が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。（絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります）
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
* パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
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