对应真空泵单元模块
对应真空泵单元VIP
新推出搭载流量传感器型（业界首发）。同时提供常规的搭载压力传感器型和无压力传感器型。
最适用于半导体相关设备（贴片机、芯片检测设备）和小型工件的吸着搬运设备。
特长
搭载流量传感器，可吸着确认小型工件。
新推出搭载流量传感器型（业界首发）。同时提供常规的搭载压力传感器型和无压力传感器型。 最适用于半导体相关设备（贴片机、芯片检测设备）和小型工件的吸着搬运设备。
超小型也能进行大流量的真空切换。
供给-80kPa时，8.5ℓ/min[ANR] 以上。
可选择真空破坏流量的调节方式。
除了带真空破坏流量调节针型阀产品以外，也可选择低价位的真空破坏流量固定型产品（供给0.5MPa时，9.5ℓ/min[ANR] 以上）。
规格
基本规格
| 适用流体 | 空气(JIS B 8392-1：符合「等级1.2.1～2.4.3」)、真空 |
|---|---|
| 使用压力范围 | 0.3～0.7MPa |
| 使用真空压力 | -90～0kPa |
| 使用温度范围 | 5～50℃(不可冻结) |
| 使用湿度范围 | 35～85%RH(不可结露) |
| 防护等级 | 与IP40相当 |
| 耐振动性／冲击性 | 50m/s2以下／150m/s2以下 |
| 润滑油 | 不需要 |
| 耐压性(供气回路) | 1.05MPa |
| 耐压性(真空回路) | 0.2MPa |
※）此处的耐压性是指在产品不被破坏的前提下所能承受的压力，并不是指产品正常使用的压力。
电磁阀规格
| 额定电压 | DC24V ±10% |
|---|---|
| 消耗电力 | 1.2W(带LED) |
| 电涌保护电路 | 有(变阻器) |
| 工作指示灯 | 通电时、红色LED点亮 |
| 手动操作 | 锁定&按钮式 |
真空供给主阀规格
| 驱动方式 | 先导阀间接驱动 |
|---|---|
| 阀功能 | 常闭 |
| 真空供气流量(※1、※2、※3) | 10L/min[ANR](-80kPa供给时) |
| 应答时间(OFF→ON) | 7msec |
| 应答时间(ON→OFF) | 8.5msec |
※1）表中的数值为真空端口尺寸选择ø4mm时的数值，真空端口尺寸为ø3mm时，流量减少15%，选择ø1.8mm时，流量减少50%。
※2）流量传感器代码为-A□005以及-A□010时，真空端口尺寸选择ø4mm或ø3mm时，流量将减少30%。
※3）真空供给流量根据真空侧配管的直径和长度（管道阻力等）的改变而变化。
※4）应答时间为供给0.5MPa/额定电压（100%）时的数值。
真空破坏主阀规格
| 驱动方式 | 直接驱动 |
|---|---|
| 阀功能 | 常闭 |
| 应答时间(※4)(OFF→ON) | 3.5msec |
| 应答时间(ON→OFF) | 2.5msec |
※1）表中的数值为真空端口尺寸选择ø4mm时的数值，真空端口尺寸为ø3mm时，流量减少15%，选择ø1.8mm时，流量减少50%。
※2）流量传感器代码为-A□005以及-A□010时，真空端口尺寸选择ø4mm或ø3mm时，流量将减少30%。
※3）应答时间为供给0.5MPa/额定电压（100%）时的数值。
真空破坏功能
| 破坏空气流量 | 无真空破坏空气流量调节针型阀型：9.5L/min［ANR］以上(0.5MPa供给时) |
|---|---|
| 破坏空气流量 | 带真空破坏空气流量调节针型阀型：约0～9.5L/min［ANR］(0.5MPa供给时) |
※）真空破坏流量根据真空侧配管的直径和长度（管道阻力等）的改变而变化。
无压力显示压力传感器规格(-V1(模拟输出))
| 额定电压 | DC10.8～30V(含波动) |
|---|---|
| 消耗流量 | 20mA |
| 压力检出方式 | 扩散型半导体压力开关 |
| 耐压力 | 1MPa |
| 模拟输出/压力检出范围 | -100～0kPa |
| 模拟输出/输出电压 | 1～5V |
| 模拟输出/零点电压 | 1 ±0.04V |
| 模拟输出/跨步电压 | 4 ±0.04V |
| 模拟输出/输出电流 | 1mA以下 |
| 模拟输出/温度特性 | ±2%F.S.以下(标准温度25℃) |
| 模拟输出/线性度 | ±0.5%F.S.以下 |
| 模拟输出/输出阻抗 | 1kΩ |
※）由于反复施加压力而产生的「零点电压」、「跨步电压」以及「开关输出设定值」的允许变化范围为±3％F.S。
流量传感器规格
| 电源电压 | DC24V ±10% |
|---|---|
| 消耗电流 | 30mA以下(无负载时) |
| 使用压力范围 | -90kPa～0.2MPa |
| 耐压 | 0.3MPa |
| 模拟输出 | 1～5V(无线性特征、连接负载阻抗50kΩ以上) |
| 压力特性 | ±10%F.S.以下(标准温度25℃) |
| 温度特性 | ±0.6%F.S.以下(标准温度25℃) |
| 重复精度 | ±2%F.S.以下 |
| 应答速度 | 5msec以下(传感器单体) |
| 输出阻抗 | 1kΩ |
适用尺寸
真空端口管子尺寸
| 毫米(mm) | φ1.8, φ3, φ4 |
|---|
供气端口管子尺寸
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8 |
|---|
真空供给端口管子尺寸
| 毫米(mm) | φ4, φ6, φ8 |
|---|
导购
个别注意事项
警告
1.请参考电子版产品目录的拧紧扭矩来紧固螺丝。产品的安装拧紧扭矩请参考「固定方法」，电磁阀的拧紧扭矩请参考「滤芯的更换方法」。如果拧紧不当，可能会导致漏气、产品掉落或部件损坏。
注意
1.本产品未附带真空过滤器。请务必与碧士克的真空过滤器系列产品配合使用。如果不使用真空过滤器，则吸入的灰尘会聚集在产品内部，从而导致真空性能下降，电磁阀泄漏或故障。（推荐使用真空过滤器：VFU系列，VFJ系列）
对应真空泵单元模块系列的常见问题
FVUS011-NWや、FVXS-DW-1は、製品自体の形式ではなく製品に搭載された「センサ」の形式となります。製品の正式な形式は、本体にレーザーマーキング（またはラベリング）されています。FVUS011-**は真空発生器VK、FVXS-**は真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVXP/VXPT）に搭載されたセンサの形式となります。
弊社の真空発生器総合タイプ（真空ポンプ対応ユニット）の形式は「V」から始まる形式となります。（VG…、VQ…など）
センサ形式は、FV…などで始まる形式で【PRESSURE SWITCH】と書かれている場合もあります。
センサ形式は、センサ付仕様のみに記載されています。
真空発生器総合タイプ（真空ポンプ対応ユニット）の形式およびセンサ形式の識別は、以下の写真を参考にしてください。
真空発生器VK(単体タイプ)
真空発生器VK(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VKM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVX/VXP）（単体タイプ）
真空発生器VX（真空ポンプ対応ユニットVX/VXP）(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VXM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
その他の真空発生器総合タイプ
製品名や外観が似ていますが、使用用途・目的が異なります。
真空発生器 総合タイプは、圧縮エアを供給することにより真空エアを発生させて制御を行う機器です。
一方、真空ポンプ対応ユニットは真空発生はせず、真空ポンプ等の別の真空源の真空エアを使用して、真空エアを制御する機器です。（ただし、破壊エア回路のパイロットバルブを駆動させるための圧縮エアの供給は必要です。）
また、ピスコの真空発生器には、小型で取付けやすい単体タイプもあります。（ただし、制御機能はありません。）
バルブを操作しない状態（ノーマル位置）での、バルブの位置を示します。
ノーマルクローズタイプ（略称Ｎ.Ｃ.）
ノーマル位置が常時閉。操作（または通電）すると開きます。
ノーマルオープンタイプ（略称Ｎ.Ｏ.）
ノーマル位置が常時開。操作（または通電）すると閉じます。
弁を操作しない状態で、入口と出口が通じています。
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます（例：10 kPa abs）
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル（Pa）（ヘクトパスカル（hPa））が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。（絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります）
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
* パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
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