控制装置

氟树脂制针型阀

通过RoHS2认证

最适用于半导体制造工程的流量控制。

树脂
  • 主要树脂部件采用了PFA、PTFE、PVDF。PFA/PTFE:具有优异的耐化学药剂性与耐热性。PVDF:具有优异的耐化学药剂性与结构强度。
  • 流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
  • 密封橡胶材料采用了HNBR或FKM。※)一部分产品仅对应流路部分。
  • 组装时不使用润滑油。
  • 采用了氟系润滑油,用洁净空气清洁后在无尘室内进行包装。
  • 在无尘室内用HFE(氢氟醚)进行真空超声波洗涤后,进行真空包装。

特长

最适用于半导体制造工程的流量控制。

实现了管子不易脱落与高密封性能。

压力圈能牢固地固定住管子。

螺母锁紧的管理变得简单。

附带紧固确认环,以便判断螺母是否锁紧。

可选择氟树脂压合接头。

规格

使用流体 液体(有一定条件※1)
最高使用压力 0.7MPa(在 0~60℃之间)※2
使用温度范围 0~100℃

警告

※1)使用流体为水或其他液体时,请务必遵守以下规则。

使用水以及其他液体时,请把波动压力控制在最高压力范围以下。

可使用未混入异物或污染物的日本国内自来水。如需使用其他的水时,请事先进行实机测评。

如需使用化学药剂时,根据使用条件可能会与碧士克规格不符,请事先确认后再进行使用。

警告

※2)当使用温度超过60℃时的最高使用压力请参考以下  「使用温度与最高使用压力相关图」。

适用尺寸

管子尺寸(外径×内径)

管子尺寸(外径×内径)
毫米(mm) φ3×φ2, φ6×φ4
英寸 φ1/8"(φ3.2)xφ2.18, φ1/4"(φ6.35)xφ3.95

流量特性图

形状与价格一览

个别注意事项

警告

1.在进行接头的安装、再拧紧和再安装时,请务必遵守产品目录或使用说明书中所规定的安装方法。如发生安装或拧紧不良,可能会导致液体泄漏或配管脱落等事故。

2.请勿在高温或有压力负载时再次拧紧。在高温或有负载的情况下再次拧紧,可能会使产品变形或破损从而导致液体喷出的情况发生。因此必须在常温且压力为零的状态下实施再次拧紧作业。

3.请勿将接头使用于规格范围之外。否则会发生液体泄漏或者配管脱落等危险事故。

4.本产品的最高使用压力随温度的改变而变化。使用时,请务必参考「使用温度与最高使用压力关系图」,并在其范围内使用。

5.由于本产品为树脂材料,拧紧时以及安装后请注意不要施加弯曲应力或拉伸应力。否则可能会导致本体变形或破损,并有发生泄漏的危险。

6.由于某些使用条件可能会导致接头本体破损、管子脱落、泄漏等问题,因此当流体为化学药剂时,请先确认产品的耐化学药剂性能后再进行使用。

7.请不要在会受到摇晃或冲击的条件下使用本产品。否则可能会造成接头本体破损、管子脱落及泄漏。

8.本产品为树脂材料,请勿过度拧紧针型阀或旋盖。

9.在针型阀外螺母松动的状态下使用产品,会导致液体泄漏,十分危险。此时必须停止使用并重新拧紧外螺母。

注意

1.请勿与碧士克以外的产品组合使用。否则会发生液体泄漏或配管脱落的风险。

2.如果管道中的液体温度高于70℃,请对管道以及配件采取例如使用保护盖等保护措施,以防烫伤。

3.确保使用我们专用的热扩口治具进行热扩口处理。如果使用其他公司的治具,可能会发生漏液等事故。

4.请注意进行扩口处理时,零件为高温,有烫伤的危险。

5.由于过度加热,有产生有毒气体的危险。因此,进行热扩口处理时请确保足够的通风。

6.废弃本产品时,请先清除接头内残留的液体后再废弃。如残留有剧毒、易燃性、高腐蚀性的液体时丢弃,会造成危险事故。

7.由于燃烧氟树脂会产生有毒气体,请将接头作为不燃物废弃。

8.使用流体仅限液体。使用气体时请咨询碧士克。

9.配管后请务必确认压力圈是否已安装。如果忘记安装压力圈会导致发生漏液和配管脱落从而发生危险。

10.由于管子连接部泄漏等原因需要再次拧紧时,先使流体温度恢复至常温,并在零压力状态下,使用专用扳手旋转1/4 圈紧固螺母后观察此时状态。由于泄漏而进行再次拧紧时,螺母的沉积液体会在再次拧紧后,即使泄漏停止,也会在一段时间内出现渗出现象。

11.螺母和锥管螺纹部在初步拧紧后,由于树脂的特性会导致拧紧扭矩下降,此现象多发生于24 小时之内,因此在24 小时以后实施再次拧紧可有效保持长期稳定的密封性能。如果管内为热循环时,建议在循环1次后的低温状态下进行再次拧紧。

12.当使用流体的泄漏可能会对设备产生损伤或引起灾害时,请提前实施如设置防护罩等安全措施。

14.使用热扩口加工治具金属轴型(F-JA-□-T)与治具底座(F-BA-3)时,管子与治具接触时,金属离子可能会附着于管子。

控制装置系列的常见问题

此产品相关咨询

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