真空吸盘
真空吸盘基本型(小型)
适用于半导体制造设备。
选购
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流路中没有使用以铜为主要成分的金属材料。
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密封橡胶材料采用了HNBR或FKM。※)一部分产品仅对应流路部分。
特长
适用于半导体制造设备。
适用于半导体制造设备。
拥有丰富的吸盘尺寸、吸盘材料、吸盘架形状。
吸盘尺寸：6种。
吸盘材料：10种。
吸盘架形状：6种。
可选择弹簧式吸盘架的行程。
弹簧式吸盘架提供低发尘型产品。
与以往的弹簧式吸盘架相比发尘量较低。
噪音等级实现了45dB的低噪音。
可连接的吸盘尺寸：φ0.7～φ4mm
行程可选2、5、10、15mm。
提供需要对应「不使用铜系金属」与「对应低浓度臭氧环境」的吸盘架。
-S3规格:金属部材料不使用黄铜，密封橡胶材料采用HNBR或FKM。
ワークへの吸着痕を軽減する「パッド表面特殊処理」をオプションで追加！
规格
吸盘材料
| 材料 | 丁腈橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟橡胶、导电性硅橡胶、导电性顺丁橡胶(低电阻型)、导电性NBR(低电阻型)、符合日本食品安全法NBR、HNBR、EPDM |
|---|
※1)导电性硅橡胶的材料为可引导排除静电的硅橡胶。(体积电阻率：105Ω·cm以下)
※2)导电性顺丁橡胶（低电阻型）的材料为顺丁橡胶。(体积电阻率：200Ω·cm以下)
※3)导电性NBR(低电阻型)的材料为丁腈橡胶。(体积电阻率：200Ω·cm以下)
※4)吸盘橡胶材料为丁腈橡胶（N）、符合日本食品卫生法的NBR（G）、导电性NBR（低电阻型）（NE）的产品不适用于以对应低浓度臭氧为目的的场合。
吸盘架种类
| 固定式真空导出口 顶端 | VPMA(迷你型) |
|---|---|
| 固定式真空导出口 侧端 | VPMB(迷你型) |
| 固定式直接安装型 | VPME(迷你型) |
| 弹簧式真空导出口 顶端 | VPMC(迷你型)／VPLFC(低发尘型) |
| 弹簧式真空导出口 侧端 | VPMD(迷你型) |
适用尺寸
吸盘尺寸(mm)
| φ0.7, φ1, φ1.5, φ2, φ3, φ4 |
|---|
真空导出口管子尺寸
| 快速接头(mm) | 1.8, 2, 3, 4, 6 |
|---|---|
| 倒钩接头(mm) | 3x2, 4x2.5, 6x4 |
※)根据吸盘架形状，可以选择的连接尺寸也不同。
真空导出口螺纹尺寸
| 内螺纹 | M3x0.5, M5x0.8 |
|---|---|
| 外螺纹 | M3x0.5 |
※)根据吸盘架形状，可以选择的连接尺寸也不同。
理论吸附力图
形状与价格一览
形状·价格一览里只刊登了代表性的机型。
其他机型请参阅真空吸盘订购生成程序或数字目录。
吸盘橡胶单体
吸盘＋吸盘架(固定式)套装
吸盘＋吸盘架(弹簧式)套装
吸盘＋吸盘架(直装型 固定式)套装
个别注意事项
注意
1.要安装吸盘径为ø0.7、ø1、ø1.5mm的小型真空吸盘时，吸着后的唇型部的负载设定不能超过0.4N。唇型部的过负载会造成由于橡胶弹性而引起的吸盘内径破损，吸附不起工件，从而有可能导致吸着确认信号做出错误判断。
真空吸盘系列的常见问题
銅を嫌う工程・使用環境に適した、銅を主成分とする材料を使わない仕様です。
『-S3』仕様は、金属部材質：銅を主成分とする材料不使用、シールゴム材質：HNBRまたはFKM となります。具体的には流路に金属材質：黄銅を使用せず、ステンレスを使用している商品を用意しています。
『-S3』仕様が形式に設定されていなくても、標準仕様が『-S3』に対応している商品もあります。例：チューブフィッティングSUS304 金属本体：SUS304、シールゴム材質：FKM
各シリーズのカタログ前方（デジタルカタログの場合は後方）ページの『継手の共通注意事項』や『真空パッドの共通注意事項』に記載がありますので、ご参照ください。
上記の他、真空パッドホルダの隔壁部につきましては、外観寸法表の欄外にも記載があります。
真空取出し口形状で『メネジ』のご用意があるパッドホルダは、継手の付替えが可能です。
今お使いのホルダと同じ形状で『メネジ』タイプがあるかどうか、カタログでご確認ください。
*
VPMCは構造上の理由により、メネジのご用意はありません。
また、VPMA、VPA（パッド接続記号：H3、T8、M4）もメネジのご用意はありません。
パッド付エアピンセット単体、パッケージ（セット）に付属しているパッドホルダ（先端金属部）は
下表の形式となります。
PISCO通販サイトS-net 内 【保守・交換パーツ】ページでも、ご確認いただけます。
上記以外の交換用パッドホルダもご用意しております。
適用パッドサイズ：最大φ50mm、パッド形状：11種類に対応可能です。
お持ちのエアピンセット本体はそのままで、交換可能です。
詳しくは、以下リンク先をご確認ください。
製品名（決まっていれば形式まで）と、薬品を使用する場合は正式な薬品名をご確認ください。
その上で、構成する部材についての耐薬品性を、以下の「耐薬品性資料」にてご確認ください。
真空パッドの材質により異なりますが、ウレタンゴムで60℃、ニトリルゴムで110℃、フッ素ゴムで230℃となります。（その他ゴム材質の高温使用温度限界温度につきましては、カタログをご参照ください）
ただし、上記高温使用限界温度は瞬時に於けるものであり、一定時間継続する場合には十分注意が必要です。
吸着痕が真空パッドに起因している場合は、真空パッド材料に添加している配合剤のパッド表面へブリード・ブルームしたものがワークに転写している可能性があります。液晶ガラスや半導体製造装置向けに開発された「吸着痕防止タイプ」は樹脂パッドのため、加硫ゴムと比較して、ブリード・ブルームの発生がより少なく、吸着痕防止対策に優れた効果があります。
ただし、吸着痕が吸着パッド自体ではなく、環境（周辺及びワークの埃や汚れ）に起因している場合は、別途対策が必要になります。
弊社真空パッドは、主にパッドホルダとパッドゴム、パッドネジなどの組合せで構成されております。ご購入いただいた同径のパッドゴムのみ交換する場合は、パッドゴム単品でご注文いただき、そのまま交換が可能ですが、異なる径のパッドに変更する場合は以下の点に注意が必要です。
1. パッドネジサイズもしくはパッドはめ込み部形状が同じであること。
2. パッド径に応じたパッドネジ、平ワッシャー、パッド押えなど付属品も一緒に購入・交換すること。
* カタログ掲載の部品構成図をご確認ください。なお、ご不明な点は最寄の弊社営業所にお問合せください。
以下の要因が考えられます。
1. 取付けの際に、隔壁部ナットの過度の締付けによりブッシュ部が変形したため。
2. 取付けの際に、シャフト部の外径六角部にスパナをかけて締付けたことにより、シャフトのキー溝部が変形したため。
* パッド径に応じた推奨締付トルク及び注意事項は、カタログ「真空パッドの共通注意事項」をご参照ください。
スピリング力の変更にも特注品として対応しております。お手数ですが最寄の弊社営業所へお問合せください。
* ご希望のスプリング力に対応できない場合もございますので予めご了承ください。
はい、付いています。
ホルダ形状がスタンダードタイプ（VPC・VPDなど）の場合、シャフト部に加工したキー溝に廻り止めネジが嵌り込むことでシャフトの回転を防止しております。
ホルダ形状が小型タイプ（VPMC、VPMD）の場合、シャフト自体が六角加工となっており、回転を防止しております。
複数の真空パッドそれぞれに落下防止弁を取付けることにより、仮に吸着していないパッドがあっても、他の真空パッドの吸着力（真空度）の低下を最小限に抑えることが可能です。
ただし、落下防止弁は完全に回路を遮断するものではなく、少量ですが大気を吸込みますので、吸着していないパッドの数により回路中に必要とする真空度を確保できない可能性があります。
また、一つのワークを複数の真空パッドで吸着する場合、仮に落下防止弁で回路の真空度低下を軽減できたとしても、ワークのバランスが崩れて他の真空パッドが外れてしまう可能性がありますので注意が必要です。
【動画】落下防止弁
エアピンセット先端の真空パッドは、「真空パッドスタンダードタイプ」を使用しております。交換にあたり、パッド単体でご注文の場合には、「スタンダードタイプパッドゴムのみ」のφ1～φ8mmの中からご希望の材質とサイズをお選びください。
形式：VP①R②
①パッドサイズ 1、2、4、6、8mm
②材質 N：ニトリル S：シリコーン E：導電性ブタジエンゴム(低抵抗タイプ)
※Rは「真空パッドスタンダードタイプ」を意味します。
例）φ2mm、ニトリルゴムの場合･･･ご注文形式：VP2RN
* 本体外観色がEG：ブラック（帯電防止）の場合の真空パッドは、ゴム材質を「E：導電性低抵抗タイプ」を選択してください。
例）φ4mm、導電性低抵抗タイプの場合･･･ご注文形式：VP4RE
上記の他、パッド接続記号がH3、T8のパッドゴムがお使いいただけます。
また、パッドホルダ（先端金属部）の種類を新たに追加していただきますと、さらに多くのパッドゴムがお選びいただけます。
詳しくは、以下リンク先をご確認ください。
エアピンセット（形式：VTA・VTB共）はペン型本体内部に真空発生器を内蔵しており、圧縮エアを供給することで真空（吸込み）を発生させます。
バルブ無し（形式：VTA）の場合、圧縮エアの供給により、真空（吸込み）は常に発生しております。ワークを吸着する場合は本体先端の人差し指のあたる部分に空いた穴を塞ぐことでパッド部の真空度が上がり、ワークを吸着します。ワークを離す場合は、穴から指を離すことで大気が流入し、パッド部の真空度が下がることでワークを離脱させます。
バルブ内蔵（形式：VTB）の場合、供給した圧縮エアは本体先端のボタン部分で止まっており、ボタンを押すことで圧縮エアが真空発生器に供給され、真空（吸込み）が発生するため、使用していない時のエアの消費を抑えることができ、省エネ仕様となっています。またボタンを離すことでワークを離脱させます。
【動画】エアピンセット のご紹介
01：17 VTA（バルブ無し）について
01：58 VTB（バルブ内蔵）について
以下、装着するパッドゴムの「パッド内径」を参考にしてください。
| パッドゴムサイズ | パッド内径※ |
|---|---|
|
φ1mm |
φ0.5mm |
|
φ2mm |
φ0.6mm |
|
φ3mm |
φ0.8mm |
|
φ4mm |
φ1.2mm |
|
パッドゴムなし(パッドホルダのみ) |
φ1.6mm |
* このパッド径まで吸着可能
エアピンセットのパッドホルダ自体の内径はφ1.6ｍｍとなりますが、上記に挙げたパッドゴムφ1～4mmはそれよりパッド内径が小さいため、上図の通りφ1.6mm以下のワークの吸着が可能です。
なおパッドサイズφ6, 8mmのパッド内径は、ホルダのパッド内径より大きいためφ1.6mm以上に適しています。
あくまで寸法上の計算となり、吸着するワークにより異なる場合がございます。最終的には実機判断をお願いしています。
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます（例：10 kPa abs）
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル（Pa）（ヘクトパスカル（hPa））が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。（絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります）
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
* パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
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